聚四氟乙烯花篮也叫四氟清洗花篮、晶圆清洗架,采用高纯聚四氟乙烯整体机加工成型,带卡槽与镂空开孔结构,部分款式配置一体式提手,主要用于晶圆、硅片、导电玻璃、薄片样品的浸泡、清洗、转运,可直接放入烧杯、清洗槽内使用,避免样品磕碰划伤,适配高纯工艺场景。
产品特点
- 材质稳定:整体纯白色,使用温度范围‑200℃~+250℃,高低温环境下不易变形开裂。
- 化学稳定性:可适配多数腐蚀性介质与有机溶剂,使用过程不易析出、不吸附杂质,金属空白值低,减少样品二次污染。
- 结构设计:槽位卡位规整,镂空开孔率高,槽液可以充分流通,样品各个表面充分接触处理介质;配置长提手,方便整体取放,无需直接接触槽体内部。
- 物理性能:绝缘性能优良,表面低摩擦、不粘垢,便于冲洗清洁;耐老化,可长期反复使用。
- 可定制化:槽数、槽宽、外形、提手长度均可按需加工,方形、圆形样式均可定制。
常用规格
- 晶圆尺寸:2 寸、3 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12 寸,适配对应尺寸硅片、晶圆片
- 小型烧杯款:46×46mm 双排槽,适配 200ml 及以上烧杯,可放置多片小型薄片样品,提手长度 80mm
- 槽位数量:5 片、10 片、24 片、25 片等可选
- 外形:方形花篮、圆形花篮,可选择带提手 / 无提手样式,适配不同清洗槽腔体




