PFA晶圆夹是半导体、光伏、精密电子等湿法工艺中,用于手动取放晶圆、硅片、玻璃片的耐酸碱夹持工具。 选用高纯PFA(可溶性聚四氟乙烯)材质制成。


具有耐腐蚀性:耐氢氟酸、硝酸、盐酸和强碱等腐蚀;
耐温:-200℃~260℃,可在高温湿法槽中使用
洁净度:低溶出、低析出、无金属离子污染,符合半导体洁净车间要求
表面光滑:不粘液、不划伤晶圆边缘,不易挂水珠
PFA晶圆夹主要用途:
1、晶圆湿法清洗、蚀刻、显影工序取放
2、硅片、陶瓷片、玻璃基片转移
3、高纯实验室、光伏电池片、LED 衬底夹持
4、强腐蚀环境下精密工件夹取




