一、整体组成 PTFE 清洗槽(槽体):盛放氢氟酸、王水、酸碱蚀刻液、SC1/SC2 清洗液的耐腐蚀槽体,可带排液阀、溢流口、槽盖;有方槽、圆槽、超声波清洗槽款式 PTFE 花篮(载具):槽内配套托架,卡槽定位硅片、晶圆、ITO 导电玻璃、光学片、电池片,可手提整体放入 / 取出槽体浸泡清洗 二、材质优势(高纯 PTFE / 电子级 PFA) 超强耐腐蚀:耐 HF 氢氟酸、浓硫酸、王水、强碱、各类光刻剥离液、有机溶剂,不被腐蚀溶胀 化学零析出:金属杂质本底 ppb 级,无离子析出,避免晶圆、样品二次污染,适配半导体超净制程、ICP 痕量实验 耐温范围:-200℃~+260℃,可电热板加热蒸煮、高温酸洗 不粘易清洁:表面光滑不挂药液残留,疏水防吸附;绝缘、耐老化、长期泡酸不变形
三、主要应用场景 半导体行业:硅片 RCA 湿法清洗、光刻去胶、蚀刻、剥膜、漂洗工序 光伏新能源:硅片制绒清洗、电池片酸洗钝化 实验室痕量分析:器皿酸泡、消解罐浸泡、低本底前处理 光学 / 显示:ITO/FTO 玻璃、盖板玻璃、掩膜板清洗蚀刻





